Saleh R, Munisa L. Pengaruh Perlakuan Implantasi Hidrogen terhadap Sifat Struktur Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering. ijp [Internet]. 3Nov.2016 [cited 21Nov.2024];14(2):33-7. Available from: https://ijphysics.fi.itb.ac.id/index.php/ijp/article/view/77