R. Saleh and L. Munisa, “Pengaruh Perlakuan Implantasi Hidrogen terhadap Sifat Struktur Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering”, ijp, vol. 14, no. 2, pp. 33-37, Nov. 2016.