Saleh, Rosari, and Lusitra Munisa. 2016. “Pengaruh Perlakuan Implantasi Hidrogen Terhadap Sifat Struktur Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering”. Indonesian Journal of Physics 14 (2), 33-37. https://ijphysics.fi.itb.ac.id/index.php/ijp/article/view/77.