SALEH, R.; MUNISA, L. Pengaruh Perlakuan Implantasi Hidrogen terhadap Sifat Struktur Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering. Indonesian Journal of Physics, v. 14, n. 2, p. 33-37, 3 nov. 2016.