Saleh, R., & Munisa, L. (2016). Pengaruh Perlakuan Implantasi Hidrogen terhadap Sifat Struktur Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering. Indonesian Journal of Physics, 14(2), 33-37. Retrieved from https://ijphysics.fi.itb.ac.id/index.php/ijp/article/view/77