Saleh, R. and Munisa, L. 2016. Pengaruh Perlakuan Implantasi Hidrogen terhadap Sifat Struktur Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering. Indonesian Journal of Physics. 14, 2 (Nov. 2016), 33-37.